JJF(鄂) 110-2024 晶圆材料电阻特性测试系统校准规范（片上标准电阻法).pdf

湖北省地方计量技术规范

JJF(鄂)110—2024

晶圆材料电阻特性测试系统校准规范

（片上标准电阻法）

CalibrationSpecificationforWaferMaterialResistance

CharacteristicTestingEquipment

(On-WaferReferenceResistorMethod)

2024-05-14发布2024-09-01实施

湖北省市场监督管理局发布

JJF（鄂）110—2024

晶圆材料电阻特性测试系

统校准规范JJF（鄂）110—2024

（片上标准电阻法）

CalibrationSpecificationforWafer

MaterialResistanceCharacteristic

TestingEquipment

(On-WaferReferenceResistorMethod）

归口单位：湖北省市场监督管理局

主要起草单位：中国船舶集团有限公司第七〇九研究所

本规范委托中国船舶集团有限公司第七〇九研究所负责解释

JJF（鄂）110—2024

本规范主要起草人：

周厚平（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）

胡勇（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）

李轩冕（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）

张明虎（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）

JJF（鄂）110—2024

目录

引言（II）

1范围（1）

2引用文件（1）

3术语（1）

3.1晶圆材料电阻特性测试系统（1）

3.2片上标准电阻（1）

4概述（1）

5计量特性（2）

6校准条件（2）

6.1环境条件（2）

6.2测量标准及其他设备（2）

7校准项目和校准方法（3）

7.1校准项目（3）

7.2校准方法（3）

8校准结果表达（3）

9复校时间间隔（4）

附录A（5）

附录B（7）

附录C（8）

I

JJF（鄂）110—2024

引言

本规范的编制依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通

用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编制。

本规范为首次发布。

II