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２０２４Ｖｏｌ３８Ｎｏ５ｗｗｗ．ｍａｔｅｒｒｅｐ．ｃｏｍ
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五氧化二钒薄膜材料制备方法研究进展
１，１１１１１２
杜金晶，孙晔，朱军，李倩，王斌，刘景田，孟晓荣
１西安建筑科技大学冶金工程学院，西安７１００５５
２７１００５５
陕西省膜分离技术研究院，西安
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由于Ｖ的饱和氧化态，五氧化二钒成为钒体系中最稳定的氧化物。作为功能材料，五氧化二钒薄膜在众多科学领域有着巨大的应用潜力，
因而受到越来越多的关注。这主要归功于其特殊的层状结构、高能量密度、良好的化学和热稳定性以及优异的光学和电学性能。五氧化二钒薄
膜的制备方法很多，采用不同的实验方法在不同衬底上制备的五氧化二钒薄膜因化学成分和组织结构差异而造成其电学、光学性能也存在显著
的差异。本文详细阐述了五氧化二钒薄膜现有的制备技术，并对五氧化二钒薄膜材料应用的发展趋势进行了展望，以期为五氧化二钒薄膜产业
的发展提供参考。
关键词五氧化二钒薄膜溶胶凝胶法溅射法喷雾热解法
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ＴＱ１３５．１１Ａ
中图分类号：文献标识码：
ＲｅｓｅａｒｃｈＰｒｏｇｒｅｓｓｉｎＰｒｅｐａｒａｔｉｏｎＭｅｔｈｏｄｓｏｆＶａｎａｄｉｕｍＰｅｎｔｏｘｉｄｅＴｈｉｎ
ＦｉｌｍＭａｔｅｒｉａｌｓ
１，１１１１１２
ＤＵＪｉｎｊｉｎｇ，ＳＵＮＹｅ，ＺＨＵＪｕｎ，ＬＩＱｉａｎ，ＷＡＮＧＢｉｎ，ＬＩＵＪｉｎｇｔｉａｎ，ＭＥＮＧＸｉａｏｒｏｎｇ
１ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｔａｌｌｕｒｇｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｘｉ’ａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＡｒｃｈｉｔｅｃｔｕｒｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｘｉ’ａｎ７１００５５，Ｃｈｉｎａ
２ＳｈａａｎｘｉＦｉｌｍＳｅｐａｒａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅ，Ｘｉ’ａｎ７１００５５，Ｃｈｉｎａ
５＋
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ＤｕｅｔｏｔｈｅｓａｔｕｒａｔｅｄｏｘｉｄａｔｉｏｎｓｔａｔｅｏｆＶｖａｎａｄｉｕｍｐｅｎｔｏｘｉｄｅｂｅｃｏｍｅｓｔｈｅｍｏｓｔｓｔａｂｌｅｏｘｉｄｅｉｎｔｈｅｖａｎａｄｉｕｍｓｙｓｔｅｍ．Ａｓａｆｕｎｃｔｉｏｎａｌｍａ
ｔｅｒｉａｌ，ｖａｎａｄｉｕｍｐｅｎｔｏｘｉｄｅｔｈｉｎｆｉｌｍｈａｓｇｒｅａｔａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｐｏｔｅｎｔｉａｌｉｎｍａｎｙｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃｆｉｅｌｄｓａｎｄｈａｓａｔｔｒａｃｔｅｄｍｏｒｅａｎｄｍｏｒｅａｔｔｅｎｔｉｏｎ．Ｔｈｉｓｉｓ
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ｍａｉｎｌｙａｔｔｒｉｂｕｔｅｄｔｏｉｔｓｓｐｅｃｉａｌｌａｙｅｒｅｄｓｔｒｕｃｔｕｒｅｈｉｇｈｅｎｅｒｇｙｄｅｎｓｉｔｙｇｏｏｄｃｈｅｍｉｃａｌａｎｄｔｈｅｒｍａｌｓｔａｂｉｌｉｔｙａｎｄｅｘｃｅｌｌｅｎｔｏｐｔｉｃａｌａｎｄｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ
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ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ．Ｖａｎａｄｉｕｍｐｅｎｔｏｘｉｄｅｔｈｉｎｆｉｌｍｓｃ
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