GB_T 43916-2024真空技术 真空计 电容薄膜真空计的 规范、校准和测量不确定度.docxVIP

ICS23.160CCSJ78

中华人民共和国国家标准

GB/T43916—2024/ISO20146:2019

真空技术真空计电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度

Vacuumtechnology—Vacuumgauges—Specifications,calibrationandmeasurementuncertaintiesforcapacitancediaphragmgauges

(ISO20146:2019,IDT)

2024-04-25发布2024-04-25实施

国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

发布

Ⅰ

GB/T43916—2024/ISO20146:2019

目次

前言 Ⅲ

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

3.1组成 2

3.2物理参数 2

3.3其他参数 3

4缩略语 5

5电容薄膜真空计 5

5.1原理 5

6电容薄膜真空计规范 6

6.1电容薄膜真空计类型 6

6.2规管温度控制 6

6.3信号输出单元的显示和测量 6

6.4电容薄膜真空计的测量范围 6

6.5目标测量不确定度 6

6.6零点和全量程的温度系数 7

6.7分辨力 7

6.8规管响应时间 7

6.9预热时间 7

6.10允许压力(最大负载压力) 7

6.11破坏压力(爆破压力) 7

6.12接触气体的材料 7

6.13规管安装方向 7

6.14腔室的接口 7

6.15内部容积 7

6.16接口和引脚连接 7

6.17规管和控制器的兼容性 7

6.18规管和控制器的尺寸和质量 8

6.19常规工作(环境)条件 8

6.20储存和运输条件 8

6.21供电要求 8

7电容薄膜真空计附加(可选)规范 8

Ⅱ

GB/T43916—2024/ISO20146:2019

7.1复现性(长期稳定性) 8

7.2零点的倾斜效应 8

7.3零点重复性 8

7.4加压至满量程后的零点耐久度 8

7.5加压至满量程后的量程耐久度 8

7.6加压至允许压力后的零点耐久度 8

7.7加压至允许压力后的量程耐久度 9

7.8更新间隔 9

7.9连接管内径 9

7.10缆线长度 9

7.11压力设定点 9

7.12照片 9

7.13检测记录和校准证书 9

8校准 9

8.1校准程序 9

8.2校准不确定度 10

8.3校准证书 10

9使用中的测量不确定度 10

附录A(资料性)热流逸效应补偿 11

参考文献 14

Ⅲ

GB/T43916—2024/ISO20146:2019

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件等同采用ISO20146:2019《真空技术真空计电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度》。

本文件做了下列最小限度的编辑性改动:

—对图A.1中的符号补充了标引序号说明。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国机械工业联合会提出。

本文件由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。

本文件起草单位:中国计量科学研究院、上海振太仪表有限公司、兰州空间技术物理研究所、淄博市计量技术研究院、安徽歌博科技有限公司、湖南