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序言

???從第2次世界大戰後對航空儀器及有關精密機器類之生產，為確保所預期之性能，乃用各種方法將裝配區域之空氣保持潔淨，尤其進行電子儀器之微小化，及要增加產品之合格率，更費各種努力使機器與零件盡量不被污染。為提升各機器之信賴性，耐久性與減少維修次數，怎样控制污染，其主要性愈增。為達到上述目标，對上述之生產場所裝設無塵無菌室或其它空氣潔淨化設備，以控制空氣之污染。无尘室简介专题知识专家讲座第1页

制造業發展趨勢潔淨化---------無塵制造------環境精密化---------納米技朮------精度自動化---------柔性制造------效益无尘室简介专题知识专家讲座第2页

無塵室定義無塵室又名潔淨室﹕是指將室內空氣中塵埃微粒﹐溫度﹐濕度﹐壓力流速﹐氣流分布形式及其形狀等控制在一定范圍內房間空氣潔淨度定義:每ft^3空氣所含≧0.5μm直徑塵埃個數即為所屬潔淨度等級洁净度数值越小---等级越高.无尘室简介专题知识专家讲座第3页

日常環境中空氣含塵量場所潔淨度工廠﹐車站﹐學校2,000,000商店﹐辦公室﹐樂房1,000,000住宅600,000室外500,000病房﹐門診部150,000手朮室50,000无尘室简介专题知识专家讲座第4页

潔淨度等級-美國聯邦FED??STD??209E等級0.1μｍ0.2μｍ0.3μｍ0.5μｍ5μｍ體積單位體積單位體積單位體積單位體積單位公制英制m3ft3m3ft3m3ft3m3ft3m3ft3M13509.9175.72.1430.90.875100.283——M1.511240352657.5106335.31——M2350099.175721.43098.751002.83——M2.5101240035026507510603035310——M3350009917570214309087.5100028.3——M3.5100——26500750106003003530100——M4——7570021403090087510000283——M4.51,000——————3530010002477M5——————100000283061817.5M5.510,000——————35300010000247070M6——————1000000283006180175M6.5100,000——————353000010000024700700M7——————10000000283000618001750无尘室简介专题知识专家讲座第5页

無塵室構成要素無塵室之構成要素如表-1，有5大項區別。其中空氣(清淨度，溫濕度)之性能為最主要。這種性能降低和維持性能水準是無塵室之基本要求。清淨度在JIS表示等級為3～4，溫度與濕度是23℃；40～45%之中心值作調整之範例最多。建築內部裝修之基本要求是，設計清淨度性能，維持其性能基本要求。微振動、靜電氣、電磁場等性能是獲得提升性能且影響生產之要素。無塵室面積方面，以一條生產線計算超過5,000m^2，近年來有增加之傾向。生產方面，主要著眼於提升效率；而施行各種政策，來強化節能節省資源之工作。實用性方面即是負責提升製造停滯之主要工作。最近氣體系單位有顯著增加投資趨勢。居住方面，儘量採用各種提升生產效率之方法，為了確保安全方面，能够利用無塵室來控制生產。這是今後，務必考慮工作。无尘室简介专题知识专家讲座第6页

表1無塵室構成要素

1)空氣、空調除塵（潔淨度、氣流、室內壓力）、冷熱水流體（溫溼度）2)內裝、靜電3)生產性：生產佈置、搬運、自動控制、省能源4)周邊設施：電氣、氣體、排氣處理、冷卻水、純水、排水5)居住性：安全、保安、噪音无尘室简介专题知识专家讲座第7页

空氣淨化要求發塵量小﹕1.風淋室2.要短線作業及時排塵﹕使用防靜電材料供給潔淨空氣﹕HEPAULPA无尘室简介专题知识专家讲座第8页

溫濕度要求-FEDSTD-209B溫度﹕18~23℃推荐值﹕20~21℃濕度﹕60~85%推荐值﹕70~76%說明﹕1.RH30%,材料變脆和易燃﹐有靜電2.RH85%,材料潮濕易吸附塵埃,不能吹掉无尘室简介专题知识专家讲座第9页

過濾網(FILTER)1.初級過濾網(PRE-FILTER):目标:為延長HEPA(HIGH-EFFICIENCYPARTICULATEAIR)過濾網之使用壽命為目标,以過濾外氣中之粗塵粒及室內產生之較大塵粒為使命。選用:效率50%以上之初級過濾網。2.終端過濾網(HEPA):目标:按無塵室清靜度條件之要求過濾0.5μm以上之塵粒子為目标。選用:99.99