【英语版】国际标准 ISO/TR 15969:2021 EN Surface chemical analysis — Depth profiling — Measurement of sputtered depth 表面化学分析 深度剖面测量 溅射深度测量.pdf

ISO/TR15969:2021《表面化学分析——深度剖面测量——溅射深度测量》是一个国际标准化组织（ISO）的技术报告，主要涉及表面化学分析中的深度剖面测量技术，特别是溅射深度测量的方法。

该标准主要涵盖了以下内容：

*定义和术语：该标准定义了与表面化学分析、深度剖面测量和溅射深度测量相关的术语和概念。

*原理：该部分描述了溅射深度测量的基本原理，包括溅射过程、测量方法和技术。

*测量方法：该部分详细描述了各种用于测量溅射深度的技术和方法，包括电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、X射线光电子能谱仪（XPS）等。

*误差分析和数据处理：该部分讨论了影响溅射深度测量准确性的因素和误差来源，以及如何进行数据分析和处理。

*应用范围和限制：该部分明确了该标准适用于哪些情况下的溅射深度测量，以及哪些情况下不适合使用该方法。

ISO/TR15969:2021是一个非常重要的标准，它为表面化学分析中的深度剖面测量提供了基础知识和方法，对于理解表面性质、开发和优化表面处理技术等方面具有重要的应用价值。

请注意，该标准的原文是英文，上述解释是基于其内容的大体含义和上下文进行的概括和翻译。如需更准确的理解，建议直接参考原文。