YST 1150-2016 高纯钴铸锭标准规范.docxVIP

ICS77.150.70

H62

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T1150—2016

高纯钴铸锭

Highpuritycobaltingot

2016-07-11发布

2017-01-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T1150—2016

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。

本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司。

本标准主要起草人：张涛、姚力军、李勇军、王学泽、何金江、宋佳、罗俊锋、袁海军、贺昕、陈勇军、

曾浩、赵玉林、刘丹、熊晓东、万小勇。

I

2

YS/T1150—2016

高纯钴铸锭

1范围

本标准规定了高纯钴铸锭的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存和质量证明书以及

订货单(或合同)内容。

本标准适用于半导体钴靶材制造所需的高纯钴铸锭。其他行业所需的高纯钴铸锭也可参照使用。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则

YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

YS/T1011高纯钴化学分析方法杂质元素含量的测定辉光放电质谱法

3要求

3.1产品分类

高纯钴铸锭按化学成分分为Co-4N5和Co-5N两个牌号。

3.2化学成分要求

3.2.1高纯钴铸锭的化学成分

高纯钴铸锭的化学成分见表1。

表1高纯钴铸锭的化学成分

牌号

C??(质量分数)

%,不小于

杂质含量(质量分数)/×10~*%,不大于

Ag

Al

B

Ca

Cl

Cr

Cu

Fe

K

Co-5N

99.999

0.1

1.0

0.1

1.0

1.0

1.0

1.0

3.0

0.05

Co-4N5

99.995

2.0

2.0

1.0

2.0

10.0

0.2

牌号

Co?(质量分数)

%,不小于

杂质含量(质量分数)/×10-*%,不大于

Li

Mg

Mn

Mo

Na

Ni

Si

Sn

Ti

Co-5N

99.999

0.1

0.1

1.0

1.0

0.05

6.0

1.0

0.5

2.0

Co-4N5

99.995

2.0

1.0

0.2

8.0

5.0

2.0

牌号

Co?(质量分数)

%,不小于

杂质含量(质量分数)/×10~-*%,不大于

V

Zn

Th

U

W

Zr

杂质总和*

Co-5N

99.999

0.5

0.1

0.0001

0.0001

1.0

1.0

10

YS/T1150—2016

表1(续)

牌号

Co?(质量分数)

%,不小于

杂质含量(质量分数)/×10~*%,不大于

V

Zn

Th

U

W

Zr

杂质总和*

Co-4N5

99.995

1.0

0.01

0.01

—

50

注：用户对某种特定杂质元素含量有特殊要求的，由供需双方协商确认。

a杂质总和为表中所列杂质含量实测值之和。

b高纯钴铸锭的钴含量为100%减去表中所列杂质含量实测值总和的余量。

3.2.2高纯钴铸锭的气体元素含量

高纯钴铸锭中的气体元素含量见表2。

表2高纯钴铸锭的气体元素含量

牌号

Co(质量分数)/%,

不小于

气体元素含量(质量分数)/×10-*%,不大于

C

H

N

O

S

Co-5N

99.999

30

10

20

100

10

Co-4N5

99.995

50

10

20

150

20

3.3外形尺寸

高纯钴铸锭形状一般为圆柱型，其外形尺寸及允许偏差由供需双方协商。铸锭如图1所示。

图1高纯钴铸锭示意图

3.4外观质量

高纯钴铸锭表面应洁净，无裂纹、毛刺、夹杂、孔洞和其他沾污。

3.5内部缺陷

高纯钴铸锭内部应连续一致，内部应无气孔、疏松、缩孔和夹杂等缺陷。

4试验方法

4.1化学成分分析方法

4.1.1高纯钴铸锭中杂质元素的分析方法按YS/T1011的规定执行。

4.1.2高纯钴铸锭中碳、氢、氮、氧、硫杂质元素的分析按照GB/T14265的规定执行。

YS/T1150—2016

4.2外形尺寸

高纯钴铸锭的外形尺寸由相应精度的量具检测。

4.3外观质量

外观质量用目视检查或10倍放大镜下检查。

4.4内部缺陷

高纯钴铸锭内部缺陷检查按YS/T837的规定进行。

5检验规则

5.1检查和验收

5.1.1产品应由供方检验部门进行检验，保证产品质量符