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2024晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备.docx

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    高压化学气相淀积设备是用于晶体硅光伏电池产线上应用的一类特殊设备其主要任务是将低浓度的气体在一定条件下凝固成薄片，从而形成稳定的薄膜，保证光伏电池的稳定输出

    Q/LB.□XXXXX-XXXX

    PAGE2

    FORMTEXT晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备

    PAGE1

    STYLEREF标准文件_文件编号错误！文档中没有指定样式的文字。

    PAGEII

    目次

    TOC\o1-1\h\t标准文件_一级条标题,2,标准文件_附录一级条标题,2,26744前言 III

    39661范围 1

    96432规范性引用文件 1

    113523术语和定义 1

    212084工作环境 2

    101215技术要求 2

    180615.1外观及结构要求 2

    1719

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