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1.阵列工艺（Array）

本工程负责完成阵列基板的生产，包括玻璃基板

、PECVD、溅射、光刻、刻蚀、剥离等工

序。

阵列工程使用外购的玻璃基板，充分后

在其清洁干净的表面上通过化学气相沉积（CVD）

的方法形成膜或膜，通过溅射镀膜的

方法形成金属膜。然后对栅电极及引线、有源层孤

岛、源漏电极及引线、接触通孔、像素电极经光

该用户很懒，什么也没介绍

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