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2024-05-29 发布于四川
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基板药品处理系统.pdf

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本发明涉及一种为了夹紧把持电路基板的边缘部位而配备有在上、下部夹钳上分别配置有夹紧磁铁的多个上、下部夹钳，可以通过将配备有上、下部夹钳的基板载具夹具倾斜旋转成倾斜的角度而使得如蚀刻液等药品均匀地对基板的表面进行处理，同时还可以通过最大限度地减小上、下部夹钳所把持的电路基板的接触面积而减少如蚀刻液等药品的滞留现象，进而通过在上、下部夹钳的端部形成在与基板的上、下侧接触的部位以不同的形态凸出的第一、第二凸出部而诱导液体的排出并借此预防蚀刻液的滞留现象的结构得到改良的基板药物处理系统。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118102609A

(43)申请公布日2024.05.28

(21)申请号202311316919.7

(22)申请日2023.10.11

(30)优先权数据

10-2022-0160632