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本发明提供一种使得缩小覆盖窗体的区域的同时空气向窗体的整体区域流动的冷却板及包括其的等离子体处理腔室。根据本发明，用于冷却在上部密闭等离子体处理空间的窗体的冷却板包括：主体，提供为覆盖所述窗体的中心一部分区域的圆盘形状；流入口，供气体向所述主体流入；以及排出口，供所述气体从所述主体向所述窗体喷出，在所述流入口和所述排出口之间形成所述气体流动的流路及从所述流路朝向所述窗体的斜坡。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118073163A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202310047383.7
(22)申请日2023.01.31
(30)优先权数据
10-2022-0159517
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