用于碳化硅晶体的防护装置.pdfVIP

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2024-05-25 发布于四川
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用于碳化硅晶体的防护装置.pdf

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本公开涉及一种用于碳化硅晶体的防护装置。该防护装置包括壳体和第一限位组件。壳体包括盖体和与盖体可拆卸连接的盒体。盒体包括用于放置碳化硅晶体的容纳空间。且盒体的周向形成有多个与容纳空间连通的第一调节孔。第一限位组件包括多个与第一调节孔一一对应的第一调节件。第一调节件可移动地连接于第一调节孔。第一调节件能够抵接于容纳空间内的碳化硅晶体的侧向以固定碳化硅晶体。该第一调节件能够根据不同规格尺寸的碳化硅晶体进行适应性的调整，以使得第一调节件能够始终抵接于碳化硅晶体的侧向，进而保证碳化硅晶体能够稳定可靠地置

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220997624U

(45)授权公告日2024.05.24

(21)申请号202322873473.X

(22)申请日2023.10.24

(73)专利权人浙江兆晶新材料