GB/T 43915-2024纳米几何量标准样板测试方法.pdf

ICS17.040.30

CCSJ42

中华人民共和国国家标准

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GBT439152024

纳米几何量标准样板测试方法

Testinmethodfornanoeometricstandardsamles

ggp

2024-04-25发布2024-11-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT439152024

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4测试方法分类及原理……………………1

4.1纳米线间隔标准样板测试方法分类及原理………1

4.2纳米线宽标准样板测试方法分类及原理…………2

4.3纳米台阶高度标准样板测试方法分类及原理……………………2

4.4纳米膜厚标准样板测试方法分类及原理…………3

5测试设备…………………5

5.1设备选择……………5

5.2设备要求……………5

6测试环境…………………6

7测试程序…………………6

7.1外观…………………6

7.2纳米线间隔标准样板测试…………6

7.3纳米线宽标准样板测试……………6

7.4纳米台阶高度标准样板测试………………………6

7.5纳米膜厚标准样板测试……………7

8测试数据处理……………7

8.1纳米线间隔标准样板测试数据处理………………7

8.2纳米线宽标准样板测试数据处理…………………7

8.3纳米台阶高度标准样板测试数据处理……………7

8.4纳米膜厚标准样板测试数据处理…………………7

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附录资料性