CT烧结炉工艺参数优化DOE试验.ppt

**汇报人：P2-PE项目背景目前各生产线全面推广新型正面浆料,需要对烧结工艺参数做出优化调整.效率提升略微偏低,J档率有所上升.有鉴于此工艺尝试利用DOE确认新型浆料的工艺窗口,优化工艺参数,提高效率的同时降低J档率.浆料类型效率J档率PV141(旧)15.85%1.00%16S(新)16.05%1.20%问题陈述*目前新浆料推广前后的效率和J档率情况效率提升仅0.2%,偏低;J档率呈上升趋势,影响优质率项目Y定义*针对新浆料的生产情况,需要优化烧结炉工艺参数以达到匹配的目的.AlgorithmTemperatureSpeedAirFlowY:△EFF=0.1%(156M产品,相同硅片供应商相同烧结炉设备,效率相对提高绝对值)*DOE试验试验目的：优化调整烧结参数：温度、带速和文丘里（烧结排风），提升效率.试验计划同一个批次各工序稳定控制*DOE试验设计烧结工序三个参数对电性能影响较大：温度、带速和文丘里（烧结排风）因子水平现设定值文丘里205035温度824850840带速460052005000DOE方法：采用23的全因子设计，增加了4个中心点，确定其影响是否显著，试验重复2次.标准序运行序中心点区组文丘里温度带速NCell51112082452000.160712112082446000.1611113013583749000.1621104013583749000.162145115085046000.162686115085052000.162597013583749000.162468115082452000.1608129013583749000.1621310112085046000.1628711112085052000.1612212115082446000.1614*DOE试验设计NCell的效应和系数的估计（已编码单位）项效应系数系数标准误TP常量0.1617620.0000562882.590.000文丘里0.0001430.0000710.0000193.820.032温度0.0009780.0004890.00004211.620.001带速-0.000749-0.0003750.000056-6.680.007文丘里*温度0.0000460.0000230.0000141.630.202文丘里*带速0.0001430.0000720.0000193.820.031温度*带速-0.000131-0.0000660.000042-1.560.217文丘里*温度*带速0.0001070.0000530.0000143.810.032CtPt0.0005570.0000955.880.010中心点影响显著（P0.05），需要增加轴向点，进行ResponseOptimizer的分析。三个因子影响均比较显著。*DOE试验设计中心点存在明显的弯曲，一级模型不能满足试验的需要，需修改试验设计.标准序运行序中心点区组文丘里温度带速NCell51112082452000.161212112082446000.1609113013583749000.1616104013583749000.161345115085046000.164186115085052000.162397013583749000.161668115082452000.162612901358374