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半导体项目洁净室吊顶二次钢构选型简

析

我们知道，半导体产业是现代信息社会的基石，人们日常生活中所有的信息

处理基本都离不开半导体产品的支持，我国目前正加快制造强国建设，半导体产

业将迎来高速发展。然而，我国半导体市场虽大但自给率低，半导体产品的市场

占有率几乎没有，2018年美国发起的芯片封锁事件，明确的提示我们，目前半导

体依然是中国被卡脖子的产业，通过自主创新等方式逐步实现产业自主可控已经

迫在眉睫。在这其中，半导体制造行业为关键一环，其制造厂房的顺利实施建

设更显得尤为重要。而在半导体生产的洁净厂房车间中，吊顶上方二次钢构是其

重要组成部分，二次钢构的选型设计和实施应用不仅涉及到FFU龙骨、盲板和过

滤器的悬挂，而且还影响到风管、桥架、消防管件、AMHS和检修马道等系统的走

向，进而实现满足半导体生产车间的工艺要求。

1.

项目生产主厂房结构形式析

广州某半导体项目（以下简称半导体项目）生产主厂房主体三层、局部四层，

主要为洁净区和非洁净区两部分。洁净区包含洁净核心区和洁净工艺区，位于

厂房的二三层，非洁净区位于厂房的一四层，每个洁净区又可细为下夹层、生

产层和上夹层三层空间。（图1）

图

1半导体项目

建筑结构剖面

图

1.

1.

厂房洁净核心区结构剖面图

厂房洁净室核心区下夹层、生产层和上夹层厂房结构形式各不相同，核心区

下夹层结构形式为普通结构梁和楼板，生产层地面结构形式为华夫孔楼板梁和高

架地板，上夹层结构形式为TRUSS钢桁架和屋顶的压型钢板形式。

1.

1.

1#厂房洁净工艺区结构剖面图

与洁净核心区的结构形式有所不同的是，洁净工艺区生产层和下夹层结构形

式为普通结构梁和楼板，上方再施高架地板，高架地板下方为下回风夹层，工

艺区侧面设置回风夹道。

由于半导体生产厂房工艺需求的原因，洁净核心区和洁净工艺区的结构形式

是不一样的，这就从根本上决定了吊顶二次钢构需根据厂房的具体结构形式进行

深化设计选型和安装施工，在满足结构受力的前提下，以保证半导体生产厂房的

工艺综合参数需求。

1.

生产主厂房吊顶二次钢构选型析

2.1厂房洁净核心区吊顶二次钢构选型析

通过上面洁净核心区结构剖面可以看到，上夹层结构是有TRUSS钢桁架，这

就为我们吊顶二次钢构的吊挂和支撑提供了天然的优势和便利。TRUSS钢桁架的

下悬梁间距为2.4m，正好可以充当吊顶二次钢构的主钢构，次钢构铺设于上方，

节约钢材使用量，施工安装方便快捷。

结

合TRUSS钢桁架钢结构

形式和二次钢构便于加

工、易于安装、结构牢

固美观和综合效益最高的设计原则，在满足结构受力情况的基础上，二次钢构的

主钢构利用原来的TRUSS钢桁架下悬梁担当，次钢构选用125*50*2.3t的镀锌方

钢，架设于TRUSS钢桁架下悬梁的正上方，其连接节点设计采用U型卡固定于下

悬梁上，间距按照1.2m布置。（图2）