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本实用新型公开了一种磷化铟生长材料烘烤炉,包括炉体,所述炉体的外壁等距开设有四个安装槽,所述炉体的外周均匀设置有四个防护隔板,所述安装槽内安装有连接防护隔板的支撑调节机构;所述支撑调节机构包括转动设置在安装槽内的双向螺杆,所述双向螺杆的外壁对称设置有两个与其适配的滑块,所述滑块的外壁转动设置有第一连接杆,位于同一个安装槽内的两个第一连接杆转动连接有同一个第二连接杆。本实用新型便于通过设置的驱动机构通过支撑调节机构实现防护隔板的扩展和收起,展开便于防护,收起不占用空间,且在防护隔板收起时,便于投料
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220818552U
(45)授权公告日2024.04.19
(21)申请号202322457863.9
(22)申请日2023.09.11
(73)专利权人中讯半导体(江苏)有限公司
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