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本申请涉及半导体设备技术领域，公开了一种晶圆位置矫正装置，包括：固定架，设于工艺腔室中且与工艺腔室可拆卸连接，固定架上开设有活动检测腔；检测组件，活动于活动检测腔内，用于检测目标晶圆落位轮廓并计算目标晶圆位置偏移量；运动组件，包括运动丝杆、设于运动丝杆上的运动主体以及设于运动主体上的运动马达，运动丝杆限制在活动检测腔内且与活动检测腔的侧壁滑动连接，运动马达驱动运动主体在运动丝杆上移动，运动主体承载检测组件检测目标晶圆落位轮廓并计算目标晶圆位置偏移量。本申请精准高效的矫正晶圆在快速退火机台工艺腔室
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220821517U
(45)授权公告日2024.04.19
(21)申请号202322440823.3
(22)申请日2023.09.07
(73)专利权人粤芯半导体技术股份有限公司
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