一种带有冷却结构的高温炉.pdfVIP

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2024-04-17 发布于四川
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一种带有冷却结构的高温炉.pdf

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本申请提供一种带有冷却结构的高温炉，涉及多晶硅加工设备的技术领域。带有冷却结构的高温炉包括炉体、保温笼箱、容纳箱体和冷却装置，保温笼箱设置于炉体内，炉体和保温笼箱之间形成了流通腔；保温笼箱包括箱体、保温门和第一移动驱动源，保温门与第一移动驱动源的移动端连接，箱体侧壁开设有开口，第一移动驱动源带动保温门启闭箱体的开口；容纳箱体设置于保温笼箱内，容纳箱体内用于放置多晶硅；冷却装置包括循环风扇和换热组件；换热组件设置于炉体上，换热组件与炉体能够交换热量；循环风扇用于使气流在流通腔和保温笼箱内循环流动。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117889659A

(43)申请公布日2024.04.16

(21)申请号202410124921.2F27D3/12(2006.01)