GB/T 43682-2024纳米技术　亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法.pdf

ICS71.040.50

CCSA42

中华人民共和国国家标准

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GBT436822024

纳米技术亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子

迁移率及方块电阻测量方法

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NanotechnoloMeasurementmethodsforcarriermobilitandsheet

gyy

resistanceofrahenefilmsofsub-nanometerthickness

gp

2024-03-15发布2024-07-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT436822024

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4原理………………………2

5设备………………………3

6器件制备及测量过程……………………4

7计算方法…………………7

8不确定度的分析与计算…………………9

9测量报告…………………10

()()……

附录资料性化学气相沉积法生长的石墨烯样品的方块电阻及载流子迁移率

ACVD#111

参考文献……………………12

Ⅰ

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前言