用于频率产生器的共同激励的方法与设备.pdfVIP

用于频率产生器的共同激励的方法与设备.pdf

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用于将射频(RF)功率供应至处理腔室的方法与设备。RF产生器经配置为具有能力以独立于参考频率由RF功率输出操作或使RF输出功率与参考频率同步。在频率位于解锁状态中时，使用时钟匀变改变RF输出功率的RF功率输出频率以与参考频率匹配。在RF功率输出频率到达参考频率时，RF功率输出可被锁定至参考频率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN111801767A

(43)申请公布日2020.10.20

(21)申请号201980015906.1(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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