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一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置.pdfVIP

一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置.pdf

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    本发明提供一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，涉及燃烧装置技术领域。该处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，包括机体，所述机体的上端外表面靠近左侧为止固定安装有燃烧室，所述燃烧室的上端外表面固定安装有废气输料管，所述废气输料管的上端外表面固定安装有废气输出端，所述废气输料管的左侧固定安装有旋风电机，所述燃烧室的内壁顶端位置固定安装有轴承装置，所述轴承装置的内部套设有空心管。该处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，使得反应更加全面，更加充分，有利于保护环境，使得水反应室内的废气与喷洒的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN108800172A

    (43)申请公布日

    2018.11.13

    (21)申请号20181

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