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曝光装置及曝光方法.pdfVIP

曝光装置及曝光方法.pdf

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    曝光装置(EX)设置有：光源(2A、2B、2C)，其为了对光罩基板M进行照明而产生包含多个明线波长(g射线、h射线、i射线等)的光；第1照明光学系统，其具有：射入来自光源2A(2B、2C)的光且将包含多个明线波长中的至少1个特定明线波长(i射线)而限制为既定的波长宽度的照明光束抽出的波长选择部(6A、6B、6C)、及调整照明光束的发散角的数值孔径可变部(8A、8B、8C)；以及第2照明光学系统(ILn)，其包含用以伴随与发散角对应的数值孔径而以同样的照度对光罩基板上照射照明光束的光学积分器(复眼

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN111656284A

    (43)申请公布日

    2020.09.11

    (21)申请号20198

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