一种自动稳压分子泵及其控制方法.pdfVIP

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2024-04-13 发布于四川
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一种自动稳压分子泵及其控制方法.pdf

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本发明涉及真空泵技术领域，公开了一种自动稳压分子泵及其控制方法，自动稳压分子泵包括：电机、第一电磁阀组、真空规、控制系统、多级正向涡轮、多级反向涡轮，其中，多级正向涡轮和多级反向涡轮直联在自动稳压分子泵的电机上；第一电磁阀组与每级流口引出的气路连接；真空规与控制系统连接；控制系统还与第一电磁阀组连接，控制系统根据目标真空压力和真空规检测的压力值的差值，控制第一电磁阀组的开关状态，短接不同的涡轮级，从而调整压缩比。本发明通过设计分子泵反向涡轮，利用反向涡轮主动降低压缩比，并在各级涡轮的密封壳体上开

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117869335A

(43)申请公布日2024.04.12

(21)申请号202311839828.1

(22)申请日2023.12.28

(71)申请人北京中科科仪股份有限公司

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