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一种宏微双驱动精密定位平台及其控制方法.pdfVIP

一种宏微双驱动精密定位平台及其控制方法.pdf

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    本发明公开了一种宏微双驱动精密定位平台及其控制方法，属于精密定位技术领域，包括基座、导轨、平台、宏微驱动器和限位机构，所述基座底部焊接有支撑柱，所述导轨通过内六角螺栓固定连接在基座上端面，且导轨滑动连接有滑块，所述平台通过内六角螺钉固定连接在滑块上端面，所述滑块一侧安装有宏动标尺光栅，所述导轨一侧安装有宏动光栅读数头，所述滑块另一侧安装有微动标尺光栅，所述导轨另一侧安装有微动光栅读数头，所述宏微驱动器安装在固定座的中间孔上，所述限位机构安装在固定座侧孔内。本发明通过宏微双驱动解决大行程与高精度之

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN109243520A

    (43)申请公布日

    2019.01.18

    (21)申请号20181

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