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2024-04-13 发布于四川
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本文中描述用于改进测量配方的方法及系统，所述测量配方描述经采用以表征半导体结构的测量序列。在完全执行由先前测量配方定义的测量队列之前重复地更新测量配方。在一些实例中，经改进测量配方识别在满足测量不确定性要求的同时增加晶片吞吐量的最小测量选项集。在一些实例中，控制测量配方优化以使测量稳健性与测量时间折衷。这在离群值及过程偏差的情形中实现灵活性。在一些实例中，控制测量配方优化以最小化测量不确定性、测量时间、移动时间及目标剂量的任一组合。在一些实例中，在收集测量数据的同时更新测量配方。在一些实例中，在

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN111819675A

(43)申请公布日2020.10.23

(21)申请号201980017238.6(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限

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