一种长晶气相掺杂的方法.pdfVIP

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2024-04-13 发布于四川
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一种长晶气相掺杂的方法.pdf

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本发明涉及单晶生长技术领域，具体为一种长晶气相掺杂的方法，包括以下步骤：使用二个石英罩，外部石英杯的外型如同一个倒置的水杯，开口朝下，顶部是圆弧状，开口处有二个左右对称的长条型缺口，用以避免硅熔汤被倒吸进外部石英罩中；内部石英杯是二层的，开口朝上，二个石英杯中间放置隔热效果好的碳纤维隔热棉，内部外层石英杯开口处有水平突出的法兰；有益效果为：本发明提出的长晶气相掺杂的方法，在内层石英杯中间放置碳纤维隔热棉，气相掺杂是将易挥发的掺杂剂汽化成气体状态，再将此气体导入硅熔汤之中，使得有效进入熔汤中的掺杂

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117867640A

(43)申请公布日2024.04.12

(21)申请号202311838172.1

(22)申请日2023.12.27

(71)申请人江苏芯诺半导体科技有限公司

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