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本发明公开了一种具备鳍型结构的高填充因子传感器像素及其制备方法,其像素包括PIN器件;所述的PIN器件中的P膜层采用鳍形结构,即在其截面上,P膜层的形状为梯形,形成两个具有一定斜度的侧面;PIN器件采用N衬顶的PIN二极管结构。采用上述技术方案,像素顶端不需要再放置金属走线,以提高开口率;PIN器件中N材料的透过率远大于P;整个像素的有效面积大,特殊结构可以达到TFT全覆盖,具有更高的光线收集效率;收光面积达到高填充因子,同时具备稳定性;边框为金属反光层;三面收光结构增强收光效果的同时减少侧边光
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117878134A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202211570031.1H01L29/423(2006.01)
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