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一种抛光头用支撑垫的加工装置.pdfVIP

一种抛光头用支撑垫的加工装置.pdf

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    本实用新型提供了一种抛光头用支撑垫的加工装置，所述加工装置包括由上至下依次同心设置的上底板、上压板、下压板和下底板；所述上底板和下底板的形状均为矩形；所述上压板和下压板的形状均为圆形；所述上底板和下底板之间通过弹簧导柱连接；所述上压板的下底面设置有圆柱形冲压刀具；所述下压板的上底面设置有容纳冲压刀具的凹槽。本实用新型提供的加工装置能够避免飞边和毛刺产生，降低晶圆研磨时被刮伤的风险，提高支撑垫上孔的位置准确性和尺寸准确性。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220762887U

    (45)授权公告日2024.04.12

    (21)申请号202322206839.8

    (22)申请日2023.08.16

    (73)专利权人宁波润平电子材料有限公司

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