一种阻尼可控振动传感器敏感元件以及振动传感器.pdfVIP

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2024-04-10 发布于四川
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一种阻尼可控振动传感器敏感元件以及振动传感器.pdf

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本发明公开了一种阻尼可控振动传感器敏感元件以及振动传感器，所述敏感元件包括上盖、下盖和敏感结构，上盖、下盖与敏感结构形成封闭腔；敏感结构包括封装边框、支撑梁、阻尼膜片和质量块，封装边框用于保护质量块，封装边框的厚度大于质量块的厚度；阻尼膜片设置在质量块的底部外周，阻尼膜片与下盖之间形成阻尼腔，阻尼膜片第一膜片和第二膜片，第一膜片和第二膜片分别包括相对于质量块对称设置的两个半径相同的四分之一膜片，第二膜片的半径小于第一膜片，第二膜片与第一膜片的半径比不小于1/3；支撑梁用于连接质量块与封装边框，阻

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117848479A

(43)申请公布日2024.04.09

(21)申请号202410020737.3

(22)申请日2024.01.05

(71)申请人中国航空工业集团公司北京长城计