一种真空载具及加工装置.pdfVIP

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2024-04-10 发布于四川
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一种真空载具及加工装置.pdf

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本实用新型涉及一种真空载具及加工装置。该真空载具包括：吸盘本体，具有第一侧面、与第一侧面相背的第二侧面以及贯穿第一侧面和第二侧面的多个第一气孔；及盖板，盖设在第一侧面，且具有朝向第一侧面的第三侧面和背离第三侧面的第四侧面，第三侧面与第一侧面之间形成有供冷却液流通的密封流道；盖板还具有贯穿第三侧面和第四侧面的多个第二气孔；多个第一气孔与多个第二气孔一一对应地连通，且各个第一气孔用于与外部负压源连通，以通过各个第二气孔将工件真空吸附至第四侧面上。如此，在该密封流道内冷却液对盖板和吸盘本体进行冷却，避

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220740467U

(45)授权公告日2024.04.09

(21)申请号202322398501.7

(22)申请日2023.09.04

(73)专利权人吉姆西半导体科技（无锡）股份有