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本发明是铜电镀浴,其包括胺、聚丙烯酰胺和双环氧化物的反应产物。反应产物起到流平剂的作用,使铜电镀浴具有较高的分布力,并提供具有减少的结节的铜沉积物。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117845289A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410017955.1C25D21/14(2006.01)
(22)申请日2015.10.
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