晶圆边缘检测装置.pdfVIP

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2024-04-10 发布于四川
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晶圆边缘检测装置.pdf

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一种晶圆边缘检测装置包含第一影像撷取组件、第一反射单元、第二影像撷取组件、第二反射单元及判断单元。第一影像撷取组件产生第一入射光。第一反射单元将第一入射光反射调整为第二入射光朝向晶圆发出，并接收来自晶圆的第一反射光调整为第二反射光朝向第一影像撷取组件发出进而产生第一影像。第二影像撷取组件产生第三入射光。第二反射单元将第三入射光反射调整为第四入射光并朝向晶圆发出，并接收来自晶圆的第三反射光调整为第四反射光并朝向第二影像撷取组件发出进而产生第二影像。判断单元接收第一影像及第二影像，并判断是否存在缺陷

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117855098A

(43)申请公布日2024.04.09

(21)申请号202410032412.7

(22)申请日2024.01.09

(30)优先权数据

1121291592023.