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本发明属于过滤设备技术领域，具体涉及一种半导体湿法设备反应腔用风扇过滤器，包括壳体，所述壳体的侧面开设有出风口；风扇模块；化学过滤器；高效过滤器；导风机构，所述导风机构设有一组，所述导风机构安装于壳体的内部，用于引导气流；开合机构，用于调节出风口的开闭。本发明能够通过侧面出风口出风，以适配空间不足的半导体湿法设备反应腔机台，提高过滤效率，且导风机构能够随风扇模块产生的气流强弱变化而调整导流角度，风力较小时也能将空气气流导向至高效过滤器的两端，提高过滤效率，且开合机构能够在风扇过滤器工作时自动打开
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117839328A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410009610.1
(22)申请日2024.01.03
(71)申请人盛奕半导体科技（无锡）有限公司
地
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