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本申请提供了基于环内双调制降低读出电路1/f噪声的静电加速度计，属于加速度传感测量领域；包括：控制单元和频率调节单元；频率调节单元用于调节施加在敏感探头上直流偏置电压和反馈电压的频率，使得施加在敏感探头上的电压频率大于1/f噪声的拐点频率；控制单元用于对检验质量位移的测量控制以及将包含加速度信息的读出电压进行解调滤波，以便滤除所述1/f噪声，获取实际读出加速度值；其中，加速度信息由敏感探头反馈。本申请可以有效地滤除掉加速度测量过程中的1/f噪声，使得加速度测量精度更高。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117825748A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202410235857.5
(22)申请日2024.03.01
(71)申请人华中科技大学
地址430074
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