GB/T 43798-2024平板显示阵列用正性光阻材料测试方法.pdf

ICS31.030

CCSL90

中华人民共和国国家标准

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GBT437982024

平板显示阵列用正性光阻材料

测试方法

Testmethodofositivehotoresistformanufacturinofflatanel

ppgp

dislaarra

pyy

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT437982024

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4测试条件…………………2

4.1环境条件……………2

4.2试剂材料……………2

4.3其他配套……………2

5测试项目…………………2

5.1胶膜云纹……………2

5.2曝光量………………4

5.3曝光测试观察图形完整性…………6

关键尺寸()………………………

5.4CD6

5.5残膜率………………7

5.6固含量………………8

5.7液体颗粒计数………………………9

5.8粘度…………………10

5.9相对密度……………11

5.10水分质量分数……………………11

5.11金属杂质含量……………………11

6试验报告…………………13