基于SECS/GEM SECSII交易的信息分流方法及分流器.pdfVIP

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2024-04-03 发布于四川
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基于SECS/GEM SECSII交易的信息分流方法及分流器.pdf

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本申请公开了基于SECS/GEMSECSII交易的信息分流方法及分流器，所述方法包括：在软件中，实现对一个半导体设备的SECS/GEMHSMS连接，构建一个设备连接对象，以及实现对N个软件系统的SECS/GEMHSMS连接，构建N个系统连接对象；为设备连接对象和每个系统连接对象构建一个分流控制对象，对分流控制对象进行配置，使其控制设备端接口与软件系统端接口之间的SECSII交易。所述分流器实现了一台半导体设备可以基于SECS/GEMSECSII协议同时与多个软件系统进行信息交互。本申请实现

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115002080A

(43)申请公布日2022.09.02

(21)申请号202210737152.4

(22)申请日2022.06.27

(71)申请人上海轩田工业设备有限公司

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