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本发明公开一种提高石英坩埚品质的制备装置及方法,所述装置包括熔制室、熔制模具、起弧遮挡组件和石墨电极,起弧遮挡组件以转动的方式安装在熔制室上,熔制模具安装在熔制室内,石墨电极安装在熔制室上方并以升降的方式可伸入或退出熔制模具,起弧遮挡组件通过转动可移动至熔制模具的开口上方将石墨电极和熔制模具隔离,在石墨电极起弧预热阶段将石墨电极产生的残渣、灰粉收集在起弧遮挡组件内,避免了残渣和灰粉进入熔制模具内对石英砂造成污染,石墨电极预热完成后,转动起弧遮挡组件离开熔制模具的开口,将石墨电极伸入熔制模具内对成
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN114230139A
(43)申请公布日2022.03.25
(21)申请号202111623943.6
(22)申请日2021.12.28
(71)申请人宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限
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