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本发明涉及一种溅射用高纯铝钕合金靶材及其制造方法，以高纯铝、铝钕中间合金为原料，称取特定比例的高纯铝和铝钕中间合金块，在真空熔炼炉中高温熔炼，再低温熔炼，真空浇铸到高纯氧化铝内衬的真空水冷模中快速冷却，得到浇铸方胚后保温并做均匀化处理，然后进行轧制，轧制后的合金板胚进行退火处理，水切割去边，机加工至合适尺寸，焊接至铜背板。本发明最终得到高质量的铝钕合金靶材，合金化程度高无中间相，平均晶粒大小不超过40um，组织均匀致密无内部缺陷。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN114959595A
(43)申请公布日2022.08.30
(21)申请号202111548656.3C22B9/04(2006.01)
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