成膜装置以及板.pdfVIP

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2024-03-30 发布于四川
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成膜装置以及板.pdf

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本实施方式提供成膜装置以及板，能够在径向上控制向基板面内供给的工艺气体的浓度、流量。本实施方式的成膜装置具备：成膜室，能够收容基板；气体供给部，具有设置在成膜室的上部并向基板的成膜面上供给工艺气体的多个喷嘴、以及抑制工艺气体的温度上升的冷却部；加热器，将基板加热到1500℃以上；以及板，在成膜室内与形成有多个喷嘴的第1开口部的气体供给部的下表面对置，且与该下表面分离地配置，板包括：多个第2开口部，具有比第1开口部小的直径，且在该板面内大致均匀地配置；以及分隔部，在与气体供给部对置的对置面上突出，

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN113621943A

(43)申请公布日2021.11.09

(21)申请号202110467079.9C23C16/52(2006.01)

(22)申请日2