一种阵列质量块式MEMS加速度计及其制备方法.pdfVIP

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2024-03-30 发布于四川
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一种阵列质量块式MEMS加速度计及其制备方法.pdf

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本发明提供一种阵列质量块式MEMS加速度计及其制备方法，MEMS加速度计包括：多个传感器单元和外框架；外框架用于对多个传感器单元进行封装；每个传感器单元包括：质量块、至少一个第一电容梳齿、至少一个第二电容梳齿、内框架、第二弹簧梁以及第一锚点；第二弹簧梁的一端设置有第一锚点，另一端连接质量块的内侧；质量块的外侧连接所述第一电容梳齿，内框架的内侧连接所述第二电容梳齿，内框架的内侧与质量块的外侧相对，使所述第一电容梳齿和第二电容梳齿相互交错分布；所述第一锚点用于将第二弹簧梁的一端与所述外框架连接；多个

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117783587A

(43)申请公布日2024.03.29

(21)申请号202311786170.2

(22)申请日2023.12.22

(71)申请人华中科技大学