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本发明公开了一种双腔准分子激光器的能量调节方法，包括以下步骤：S1：当前猝发信号检测到激光器的出光，触发中断，基于MO电压检测值和PA电压检测值，计算得到MO电压增量，并利用MO电压增量对PA电压进行闭环控制；S2：在当前猝发信号后的间隔期间内，对MO电压进行更新，作为下一个猝发信号用的MO电压，并返回步骤S1。本发明利用被偏置的MO电压检测值与PA电压检测值的差值，使MO电压可调，以扩大激光器出光能量的可调节范围；而且，本发明用MO电压增量对PA电压增量进行反向补偿，进一步提高了PA电压的稳定
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115912022A
(43)申请公布日2023.04.04
(21)申请号202111013309.0
(22)申请日2021.08.31
(71)申请人北京科益虹源光电技术有限公司
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