一种用于纳米压印工艺的SU-8压印胶及图案固化的制备方法.pdfVIP

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2024-03-30 发布于四川
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一种用于纳米压印工艺的SU-8压印胶及图案固化的制备方法.pdf

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本发明涉及纳米压印技术领域，公开了一种用于纳米压印工艺的SU‑8压印胶，包括：SU‑8环氧树脂、活性稀释剂、光引发剂和助剂；所述活性稀释剂选自单官能团环氧类活性稀释剂、双官能团环氧类活性稀释剂或多官能团环氧类活性稀释剂中的至少一种。图案固化的制备方法为将上述SU‑8压印胶滴加在基片上，经过旋涂、光照、后固化。本发明公开的SU‑8压印胶中选用环氧类的活性稀释剂，因其不含溶剂，可避免繁琐的工艺，并通过筛选合适的低表面能助剂，降低表面能，使其具有较好的涂膜均匀性及脱模性，已成功用于纳米压印工艺领域。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117784521A

(43)申请公布日2024.03.29

(21)申请号202311831663.3

(22)申请日2023.12.28

(71)申请人徐州博康信息化学品有限公司

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