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本发明提供一种负压吸附固定装置,属于电子显微镜样品制备技术领域,所述负压吸附固定装置,其包括固定座,所述固定座上方连接空腔(2),所述空腔顶面由密封装置封闭,所述空腔底面设置吸附垫(3);所述空腔(2)、吸附垫(3)、密封装置形成密封空间;所述空腔(2)底端扩出吸附孔,用于容纳所述吸附垫(3);吸附孔的直径与样品直径或边长的偏差小于规定阈值,以便吸附孔容纳样品。本发明所述装置结构简单,易加工,成本低,具备很强的适用性,适用于不同材质的电镜薄片样品;利用气压原理实现固定,利用毛细原理提供辅助吸附力
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117773774A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311840811.8B24B1/00(2006.01)
(22)申请日2023.12.2
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