一种光学检测设备和光学检测方法.pdfVIP

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2024-03-30 发布于四川
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一种光学检测设备和光学检测方法.pdf

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本发明公开了一种光学检测设备和光学检测方法。光学检测设备包括光源、光学系统和探测器：光源用于发出探测光束；光学系统用于将探测光束传输至待测物体，探测光束经待测物体形成检测光束，光学系统还用于接收检测光束，光学系统包括视场调整组件，检测光束经视场调整组件后投射至探测器的成像面；其中，检测光束在成像面所在平面的成像视场落入成像面所在区域；探测器根据检测光束形成待测物体的目标图像。通过上述方案，在不增加光源出射的探测光束能量和探测器积分时间的基础上，提高了检测光束的光能利用率，有利于增强检测光信号，提

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117783114A

(43)申请公布日2024.03.29

(21)申请号202311838928.2

(22)申请日2023.12.28

(71)申请人上海御微半导体技术有限公司

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