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化合物半导体的外延生长设备项目分析评价报告
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化合物半导体的外延生长设备项目分析评价报告
目录
TOC\h\z15877序言 4
9483一、工艺说明 4
31960(一)、技术管理特点 4
4100(二)、化合物半导体的外延生长设备项目工艺技术设计方案 5
820(三)、设备选型方案 7
28221二、化合物半导体的外延生长设备项目概论 8
16204(一)、化合物半导体的外延生长设备项目概述 8
13775(二)、化合物半导体的外延生长设备项目总投资及资金构成 9
29857(三)、资金筹措方案 10
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