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本公开涉及一种自动更换光阻装置及其控制方法、控制装置和存储介质，当需要对光阻进行更换时，先通过第一夹持组件夹持固定容纳瓶的瓶身，然后通过移动组件驱动第二夹持组件升降动作，带动第二夹持组件移动到容纳瓶的瓶盖位置时夹住瓶盖，接着通过移动组件驱动第二夹持组件升降动作，带动瓶盖与吸管一起向外拔出；第一夹持组件松开原瓶身，并更换装满光阻的新的瓶身，通过第一夹持组件夹持固定新的瓶身，然后通过移动组件驱动第二夹持组件升降动作，带动吸管插入到新的瓶身内部，以及使得瓶盖盖设于新的瓶身上。如此，便能实现自动更换光阻
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117756041A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202211137343.3
(22)申请日2022.09.19
(71)申请人长鑫存储技术有限公司
地址23
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