一种具有工作状态检测机构的静电卡盘.pdfVIP

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2024-03-23 发布于四川
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一种具有工作状态检测机构的静电卡盘.pdf

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本发明涉及一种具有工作状态检测机构的静电卡盘，属于半导体设备技术领域，包括有静电卡盘底座，静电卡盘底座上安装连接有静电卡盘，静电卡盘底座的侧面设置有感应器壳体；在感应器壳体内，自下而上依次相接触地设置有压力感应器、弹性件和滑动块，滑动块的外侧面与感应器壳体的内侧面相匹配；在滑动块上设置有向上延伸的检测针，感应器壳体的顶部具有针孔，检测针从针孔穿出；检测针位于静电卡盘的外侧。本方案检测既方便又准确，解决了目前生产企业存在的顾虑；同时结构精简，并独立于静电卡盘，能够采用现有的静电卡盘、无需对静电卡盘

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117747390A

(43)申请公布日2024.03.22

(21)申请号202311746168.2

(22)申请日2023.12.19

(71)申请人天津鑫钰半导体设备有限公司

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