一种超高真空环境的晶圆传送载具的控制系统及方法.pdfVIP

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2024-03-20 发布于四川
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一种超高真空环境的晶圆传送载具的控制系统及方法.pdf

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本发明涉及传送载具控制方法技术领域，特别涉及一种超高真空环境的晶圆传送载具的控制系统及方法，包括：采集待传送晶圆的第一数据信息以及传送载具的第二数据信息；对第一数据信息和第二数据信息进行数据处理，获取传送载具的晶圆运载数量信息；对晶圆运载数量信息和第二数据信息进行数据处理，获取传送载具上晶圆码垛的垛数和码垛晶圆最多的一垛重心高度数据。本发明根据路径节点关系对传送载具的移动路径进行分段，形成i个子路段，并且采集出传送载具的上码垛晶圆的中心点，根据每个子路段的环境信息和重心高度数据生成速度控制系数，

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117727666A

(43)申请公布日2024.03.19

(21)申请号202410172063.9

(22)申请日2024.02.07

(71)申请人泓浒（苏州）半导体科技有限公司

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