一种压电式MEMS散热器.pdfVIP

下载本文档

57
0
约1.36万字
约 14页
2024-03-20 发布于四川
举报
版权申诉

一种压电式MEMS散热器.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种压电式MEMS散热器，包括：散热器底座包括中央区和环绕中央区的边缘区，边缘区包括多个进气口和多个出气口；止回阀层包括进气阀和出气阀阵列，进气阀覆盖进气口，出气阀覆盖出气口；压电执行器层设置于止回阀层远离散热器底座的一侧，压电执行层包括第一基底、设置于第一基底一侧的多个压电振动单元；第一基底与散热器底座以及止回阀层形成空腔；第一基底包括多个通孔，每一通孔对应设置一压电振动单元，压电振动单元用于接收电信号时振动，使空腔内的气体通过出气阀和出气口排出或者使外部气体通过进气口和进气阀进入

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117727715A

(43)申请公布日2024.03.19

(21)申请号202311768337.2

(22)申请日2023.12.21

(71)申请人常州元晶摩尔微电子有限公司

地址