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行业报告|
行业专题研究
证券研究报告
2024年03月04日
专用设备
半导体射频电源专题：激荡频波，驭势而行！
作者：
分析师
分析师朱晔 SAC执业证书编号：S1110522080001
分析师张钰莹
分析师张钰莹SAC执业证书编号：S1110523080002
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行业评级：强于大市（维持评级）上次评级：强于大市
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射频电源：高技术壁垒核心零部件
射频电源是可以产生300KHz-300MHz频率的高频交流电源，虽然射频的频段很宽，但半导体设备用的射频电源工作频率一般处于2MHz至60MHz之间。核心技术难点在于参数稳定性、控制精度与阻抗匹配。随着技术的不断发展，市场将逐渐向高频、高功率、小型化和能效方向发展。
射频电源应用：
1）半导体：刻蚀、薄膜沉积、干法清洗、离子注入等。2）光伏：PECVD、RPD等。3）面板：TFT阵列、CELL成盒制作等。半导体射频电源市场：国外头部企业垄断、市场集中度较高
2022年全球半导体射频电源市场销售额达到了7.26亿美元，预计2029年将达到14.57亿美元，年复合增长率（CAGR）为
11.18%（2023-2029）。中国市场（含中国台湾地区）2022年市场规模为96.6百万美元，约占全球的13.31%。
2022年，全球第一梯队厂商主要有万机仪器、美国优仪（AE）、日本大阪变压器株式会社，占有大约52.95%的市场份额。海外半导体射频电源公司如何发展：
MKS：向半导体行业提供环形等离子体源的领导者，面向FinFET开发自适应脉冲技术，以一致的脉冲提供射频功率。
AE：拥有更稳定的eVerest系列射频等离子体发生器、更快更准的NavigatorII系列射频匹配网络，专有算法PowerInsight应对匹配网络生命周期的不确定性。深耕全射频传输系统，为多种工艺提供不同产品匹配方案。
DAIHEN：1986年开始生产半导体制造设备用的射频发生器，使用内部等离子体评估室进行技术开发（如脉冲输出和频率调谐）、产品性能评估以及功能改进。
相关标的：英杰电气、爱科赛博、北方华创等。
风险提示：技术与产品研发风险、市场开拓风险、需求波动风险等。文中所提爱科赛博业绩预告数据仅为初步核算数据，准确的财务数据以公司正式披露的年报为准。
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射频电源：
高技术壁垒核心零部件
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1.1射频电源
1.1射频电源（RFPowerSupply）：高技术壁垒核心零部件
资料来源：合肥协同半导体产业研究院公众号，中科英智公众号，天风证券研究所4
资料来源：合肥协同半导体产业研究院公众号，中科英智公众号，天风证券研究所
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电源：
电源：给电气或电子设备提供电力的装置，主要作用是将电网、发电机、电池等发出的一次电能转换为可供用电设备使用的二次电能。电源按输出类型可分为直流电源和交流电源，而交流电源按照频率大小可以分为中频电源、射频电源、微波电源。
射频电源：可以产生300KHz-300MHz频率的高频交流电源，虽然射频的频段很宽，但半导体设备用的射频电源工作频率一般处于2MHz至60MHz之间。
射频电源应用领域：射频电源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蚀、去胶、PVD、干法清洗等设备中，起到激发等
离子体、选择刻蚀方向等作用。LED与太阳能光伏行业、科学研究、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域也有应用。
图：射频电源应用场景
图：射频电源应用场景
1.1射频电源
1.1射频电源（RFPowerSupply）：高技术壁垒核心零部件
资料来源：射频电源研究综述_马梅彦，壹芯微科技官网，中国科学院半导体研究所公众号，天风证券研究所5
资料来源：射频电源研究综述_马梅彦，壹芯微科技官网，中国科学院半导体研究所公众号，天风证券研究所
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表：电子管射频电源与晶体管射频电源对比图：电子管结构示意图图：晶体管结构示意图
表：电子管射频电源与晶体管射频电源对比
图：电子管结构示意图
图：晶体管结构示意图
射频电源分类：
射频电源分类：根据采用的功率放大器类型不同，可分为电子管射频电源与晶体管射频电源（又称为全固态射频电源）。
电子管射频电源：电子管本身存在很多问题，包括体积大，在某些精密领域限制了应用；寿命不足晶体管射频电源的一半；制造工艺复杂。因此随着晶体管的发展，电子管逐渐被淘汰。
晶体管射频电源：与电子管相比，晶体管射频电源的体积要小很多，同时它的损耗低、寿命长、产生很少的热量。
指标
电子管射频电源
晶体管射频电源
稳定性
强
差
输出功率
大
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