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基板抛光设备.pdfVIP

基板抛光设备.pdf

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    提供了基板抛光设备。基板抛光设备包括台、按压单元、旋转单元、多个抛光垫和喷嘴部分，其中：台配置成装载基板，台具有平行于第一方向和第二方向的平坦表面，且基板装载在平坦表面上；按压单元配置成在第三方向上于基板上施加压力；旋转单元配置成使按压单元在平面图中观察时围绕平行于第三方向的中心轴绕转；多个抛光垫设置在按压单元与基板之间以与基板接触；以及喷嘴部分配置成将浆料供应到基板上。抛光垫可以在一个方向上彼此间隔开并且可以在平面图中具有矩形形状。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN110625530A

    (43)申请公布日

    2019.12.31

    (21)申请号20191

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